為原料,分別采用二氧化硅與金屬硅、二氧化硅與氮化硅為反應(yīng)體系,通過調(diào)整兩種方法原料的加入比例,分別在1450、1500、1600℃×2h真空氣氛爐反應(yīng)燒結(jié)合成氧氮化硅。
在線咨詢由于它適應(yīng)了當前大規(guī)模集成電路 生產(chǎn)工藝向低溫工藝方向發(fā)展的趨勢,越 來越引起學術(shù)界的重視,成為制備氮化硅 薄膜常用的方法。 光化學氣相沉積(PCV
在線咨詢流化床反應(yīng)器 由于具有許多優(yōu)點,且能進行連續(xù)化生產(chǎn),使之成為一種很有前途的直接氮化法 生產(chǎn)氮化硅粉體的反應(yīng)器。 論文自行設(shè)計了高溫流化床反應(yīng)裝置、預熱系統(tǒng)、
在線咨詢宜州波導雙工器項目氮化硅球項目電吹風項目開溝機圓盤項目鉛絲籠項目。防彈玻璃項目水庫安全監(jiān)測設(shè)備項目酸洗卷項目外循環(huán)流化床熱水鍋爐項。 蘇州篩網(wǎng)項目一體移動空調(diào)
在線咨詢PECVD 法是目前能在合金化(形成 MIS 結(jié)構(gòu)薄膜)之后的低溫條 件下生長氮化硅薄膜的 CVD 技術(shù)[14,15]。鑒于此,人們對 PECVD 法制備氮化硅薄膜工藝技
在線咨詢摘要 本實用新型公開了一種生產(chǎn)氮化硅的流化床反應(yīng)器,包括物料反應(yīng)區(qū)和環(huán)繞在物料反應(yīng)區(qū)周圍的加熱裝置,所述加熱裝置包括兩個以上的加熱區(qū),所述加熱區(qū)
在線咨詢本發(fā)明提供了一種利用流化床技術(shù)常壓連續(xù)合成氮化硅粉末的方法,屬于超細氮化硅粉末的制備技術(shù)領(lǐng)域。采用 在常溫下以高純氮氣為載氣,將硅粉或者硅粉和氮化硅的混合物快
在線咨詢為了以更低的成本制備出優(yōu)質(zhì)Si3N4粉,北京科技大學提出了利用流化床技術(shù)常壓連續(xù)在該新工藝中,高溫氮化爐是決定氮化質(zhì)量好壞的關(guān)鍵設(shè)備。對高溫氮化
在線咨詢反應(yīng)燒結(jié)法制備氮化硅 作者:郭睿 作者機構(gòu):唐山市陶瓷集團特種陶瓷有限公司,063020 來源:佛山陶瓷 ISSN: 年:2003 卷:013 期:005 頁碼:1919
在線咨詢本文采用一種簡單的熱蒸法制備氮化硅納米線。樣品經(jīng)XRD、SEM、TEM 和Raman 分析,結(jié)果表明制備的氮化硅納米線具有單晶α 結(jié)構(gòu),且具有均勻的直徑,可以作為增強型復合
在線咨詢.2氮化硅陶瓷 1.2.1歷史發(fā)展和晶體結(jié)構(gòu) 1.2.2氮化硅陶瓷的性能 1.3氮化硅材料的合成研究現(xiàn)狀 1.3.1硅粉直接氮化法 1.3.2碳熱還原法 1.3.3鹵化硅氨
在線咨詢流態(tài)化的硅粉直接氮化是在流化床反應(yīng)器中進行的硅粉直接氮化,它能提高工藝的經(jīng)濟性,并能生產(chǎn)高質(zhì)量的氮化硅。隨著對氮化硅材料需求的大量增加,該方
在線咨詢氮化硅(Si3N4)是一種優(yōu)良的高溫結(jié)構(gòu)陶瓷,在工業(yè)生產(chǎn)和科技領(lǐng)域有重要用途。Ⅰ工業(yè)上有多種方法來制備氮化硅,常見的方法有:方法一直接氮化法:在1300l400℃時,
在線咨詢答案: I:3Si + 2N 2 Si 3 N 4 ;方法一所得產(chǎn)品中混有硅或方法二除產(chǎn)品是固體外其它物質(zhì)均為氣體;HCl(1分),NH 3 (1分) Ⅱ:(1)二氧化硅 (2)SiO 2 + 2C Si
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